数字通信世界杂志

摘要：针对碳化硅生产工艺中的问题，本文提出基于高性能计算平台的设计方案，设计了融合并行计算、云计算、边缘计算和人工智能技术的硬件和软件架构。实验表明，该平台能提高碳化硅的生长速率，改善掺杂均匀性，为我国半导体产业发展提供技术支持。

关键词： 碳化硅;生产工艺;高性能计算平台;优化;实验验证;

基金资助： 甘肃省科技厅2024年度第八批省级科技计划(技术创新引导计划)“大数据背景下高品质碳化硅(SiC)生产工艺优化”(编号24CXGH001)研究成果；

专辑： 信息科技

专题： 无线电电子学;计算机硬件技术

分类号： TP38;TN304.24